螺杆真空泵的特点

近年来，随着真空技术应用领域的不断扩大，各种真空获得设备增长亦非常迅速。为满足真空应用发展的需要，特别是老产品不断更新，新产品不断出现，真空获得设备的发展正在进入一个新的时代。其特点是：降低泵的振动和噪声，提高长期运行的可靠性，处理大量可凝性和挥发性气体，降低能耗和运行成本，消除废液处理和对环境的污染;要求耐腐蚀，耐粉尘以及获得清洁、无油的真空环境等。

　　根据上述要求迫使真空获得设备制造厂家不断改进老产品的特性。如滑阀泵具有抽速大、性能稳定、经久耐用等特点，但它的运动部件的惯性力和惯性力矩所产生的振动一直引起人们的注意，可实现滑阀组件自身平衡，降低了泵的振动与噪声，这种三缸内平衡的结构设计，可使滑阀泵的安装无需地脚螺栓固定，无需特殊的地基，可以直接安放在任何能支撑其重量的地面或支架上，因而大大方便了用户的使用。又如罗茨泵在清洁或腐蚀性工艺中的应用，在半导体、平板显示、薄膜太阳能电池以及其他工况条件非常苛刻的化工、制药等行业，大都采用罗茨真空泵与干式真空泵组成的真空机组。

     螺杆真空泵是由一对平行的螺旋状转子与泵体组成的一个工作腔室，转子与泵体之间没有冲突且坚持必定的空隙，两个转子与泵体之间形成了密封腔，当转子旋转时把密封腔内的气体不断地挤带至排气口排出。因螺杆真空泵无需油光滑或水密封，泵腔内完全无油，因而螺杆真空泵是无油干式真空泵，在半导体、电子工业中要求无油洁净的场合以及化工制药中对溶剂的收回工艺等具有不行比较的优越性，它是往复泵、水环泵、水喷发真空泵、油封式滑阀真空泵、旋片式真空泵、及罗茨机组的更新换代产品。